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AccuChip准芯®,是美国新泽西计算机视觉和智能展示实验室(CVIIL)与杭州明察智识科技有限公司生产的应用在半导体领域的芯片晶粒计数设备。设备通过拍摄、分析晶圆的图像,可以按类型统计每张产品上各种晶粒的数目。通过应用人工智能计数,设备可以做到只计数正常产品,不计数瑕疵产品,如晶圆边缘产品、切割不均等。

设备包括采样拍照模块,计算模块和与之配套的智能软件模块。其中拍照模块目前有两种方式:固定拍照和动态拍照两种。固定拍照每个样品拍摄一张全幅照片用来分析计数,它适用于尺寸较小的样片。而动态拍照将一个大视野分解成若干张小视野,连续拍照,然后再由算法拼接成一张大图进行分析,因此它可以在保持精细分辨率的前提下,拍摄大尺寸样品。两款的拍摄相机都是2500万像素的海康工业相机,根据需要的拍摄视野大小,配置不同焦距的镜头。设备支持自动焦距功能,因此可以快速简单的更换镜头。

计算模块是图像的处理模块,因为最大支持近10亿级像素图像的处理,并且应用了最新的深度学习方面的算法,因此计算机不仅配备了最新的CPU,也配备了深度学习算法需要用到的GPU(如英伟达的3090GPU),可以快速准确的识别目标,剔除瑕疵。

计算软件是设备的核心模块,由我司独立自主完整开发。软件通过集成深度学习、目标检测、图像分类、模式匹配、形态变换、轮廓抽取、组合匹配等多种算法,实现了设备对多种产品的支持:既可以计数类似LED芯片这样的高密度产品,又可以分类计数单晶元多品种的集成产品。软件通过多年的积累优化,在人机交互和算法时效上都有大幅优化,可以满足各客户的不同种类的需求。